流量傳感器是基于熱傳導(dǎo)原理。傳感器結(jié)構(gòu)由位于敏感薄膜上的微熱源、與微熱源對(duì)稱(chēng)的上游溫度傳感器和下游溫度傳感器以及位于硅基上的環(huán)境溫度傳感器組成。當(dāng)傳感器表面沒(méi)有流體流動(dòng)時(shí)，微熱源周?chē)臏囟葓?chǎng)呈對(duì)稱(chēng)分布，如(a)；當(dāng)傳感器表面有流體流動(dòng)時(shí)，由于流體對(duì)微熱源有冷卻效應(yīng)，導(dǎo)致微熱源周?chē)臏囟葓?chǎng)被干擾，微熱源上下游呈不對(duì)稱(chēng)分布，如圖 (b)；流體流動(dòng)的速度越大，氣體從微熱源帶走的流速越大，微熱源周?chē)臏囟鹊牟粚?duì)稱(chēng)性越大。流體的流速通過(guò)上下游溫度傳感器的溫度差獲得
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流量傳感器是基于熱傳導(dǎo)原理。傳感器結(jié)構(gòu)由位于敏感薄膜上的微熱源、與微熱源對(duì)稱(chēng)的上游溫度傳感器和下游溫度傳感器以及位于硅基上的環(huán)境溫度傳感器組成。當(dāng)傳感器表面沒(méi)有流體流動(dòng)時(shí)，微熱源周?chē)臏囟葓?chǎng)呈對(duì)稱(chēng)分布，如(a)；當(dāng)傳感器表面有流體流動(dòng)時(shí)，由于流體對(duì)微熱源有冷卻效應(yīng)，導(dǎo)致微熱源周?chē)臏囟葓?chǎng)被干擾，微熱源上下游呈不對(duì)稱(chēng)分布，如圖 (b)；流體流動(dòng)的速度越大，氣體從微熱源帶走的流速越大，微熱源周?chē)臏囟鹊牟粚?duì)稱(chēng)性越大。流體的流速通過(guò)上下游溫度傳感器的溫度差獲得。
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